La oblea solar de silicio monocristalino M12 de 210 mm x 210 mm con un diámetro de 295 mm es un 80,5% más grande que la oblea M2.
1 Propiedades materiales
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Método de crecimiento | CZ | |
Cristalinidad | Monocristalino | Técnicas de grabado preferenciales（ASTM F47-88） |
Tipo de conductividad | Tipo P | Napson EC-80TPN P/N |
Dopante | Boro, Galio | - |
Concentración de oxígeno [Oi] | ≦8E+17 a / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Concentración de carbono [Cs] | ≦5E+16 a / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Densidad del pozo de grabado (densidad de dislocación) | ≦500 cm-3 | Técnicas de grabado preferenciales（ASTM F47-88） |
Orientación de superficie | & lt; 100> ± 3 ° | Método de difracción de rayos X (ASTM F26-1987) |
Orientación de lados pseudocuadrados | & lt; 010> ;,< 001=""> ± 3 ° | Método de difracción de rayos X (ASTM F26-1987) |
2 Propiedades electricas
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Resistividad | 0,5-1,5 Ωcm | Sistema de inspección de obleas |
MCLT (portador minoritario de por vida) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (con nivel de inyección: 1E15 cm-3) |
3Geometría
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Geometría | Cuadrado completo | |
Longitud del lado de la oblea | 182 ± 0,25 milímetro | sistema de inspección de obleas |
Diámetro de la oblea | φ247 ± 0,25 milímetro | sistema de inspección de obleas |
Ángulo entre lados adyacentes | 90° ± 0.2° | sistema de inspección de obleas |
Grosor | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | sistema de inspección de obleas |
TTV (variación de espesor total) | ≤27 µm | sistema de inspección de obleas |
4 Propiedades de la superficie
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Método de corte | DW | -- |
Calidad de la superficie | como cortado y limpiado, sin contaminación visible (aceite o grasa, huellas dactilares, manchas de jabón, manchas de lechada, manchas de epoxi / pegamento no están permitidas) | sistema de inspección de obleas |
Marcas de sierra / pasos | ≤ 15µm | sistema de inspección de obleas |
Inclinarse | ≤ 40 µm | sistema de inspección de obleas |
Deformación | ≤ 40 µm | sistema de inspección de obleas |
Chip | profundidad ≤0.3 mm y longitud ≤ 0.5 mm Max 2 / pcs; sin V-chip | Sistema de inspección de ojos desnudos o obleas |
Micro grietas / agujeros | No permitido | sistema de inspección de obleas |
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