El flujo de producción de obleas monocristalinas consiste en procedimientos de corte, limpieza y clasificación.e.
1 Propiedades materiales
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Método de crecimiento | CZ | |
Cristalinidad | Monocristalino | Técnicas de grabado preferenciales（ASTM F47-88） |
Tipo de conductividad | Tipo P | Napson EC-80TPN P/N |
Dopante | Boro, Galio | - |
Concentración de oxígeno [Oi] | ≦9E+17 a / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Concentración de carbono [Cs] | ≦5E+16 a / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Densidad del pozo de grabado (densidad de dislocación) | ≦500 cm-3 | Técnicas de grabado preferenciales（ASTM F47-88） |
Orientación de superficie | & lt; 100> ± 3 ° | Método de difracción de rayos X (ASTM F26-1987) |
Orientación de lados pseudocuadrados | & lt; 010> ;,< 001=""> ± 3 ° | Método de difracción de rayos X (ASTM F26-1987) |
2 Propiedades electricas
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Resistividad | 1-3 Ωcm (después del recocido) | Sistema de inspección de obleas |
MCLT (portador minoritario de por vida) | ≧20 μs | Sinton QSSPC |
3 Geometría
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Geometría | Pseudo cuadrado | |
Forma del borde biselado | Redondo | |
Tamaño de la oblea (Longitud lateral * longitud lateral * diámetro | M0: 156 * 156 * ϕ210 milímetro M1: 156,75 * 156,75 * ϕ205 mm M2: 156,75 * 156,75 * ϕ210 mm | Sistema de inspección de obleas |
Ángulo entre lados adyacentes | 90±3° | Sistema de inspección de obleas |
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