El grabado químico asistido por metal (MACE) es un método de grabado en húmedo anisotrópico desarrollado recientemente que es capaz de producir nanoestructuras semiconductoras de alta relación de aspecto a partir de una película metálica estampada.
En un modelo bien aceptado que describe el proceso MACE, eloxidantese prefiere que se reduzca en la superficie decatalizador de metal, y los huecos (h +) se inyectan del catalizador metálico al Si o los electrones (e-) se transfieren del Si al catalizador metálico. Si debajo del catalizador metálico tiene el máximoconcentración de agujeros, Por lo tanto, losoxidacióny la disolución de Si se produce preferentemente debajo del catalizador metálico.
Se encuentra que la eficiencia de conversión de energía solar aumenta cuando los SiNW conrelación de aspecto altase emplean en la superficie de la irradiación de luz slar.
1 Condición de la superficie
Parámetro | Proceso | Reflectancia |
Lado delantero | ||
Condición de la superficie | Metal Grabado químico asistido | Bajo |
Lado trasero | ||
Condición de la superficie | Pulido o texturizado | Alto o bajo |
2 Propiedades materiales
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Método de crecimiento | solidificación direccional | XRD |
Cristalinidad | policristalino | Técnicas de grabado preferenciales（ASTM F47-88） |
Tipo de conductividad | Tipo P | Napson EC-80TPN P/N |
Dopante | Boro | - |
Concentración de oxígeno [Oi] | ≦1E+17 a / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Concentración de carbono [Cs] | ≦1E+18 a / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Propiedades electricas
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Resistividad | 0.5-2 Ωcm (después del recocido) | Sistema de inspección de obleas |
MCLT (portador minoritario de por vida) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 Geometría
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Geometría | Cuadrado o Rectángulo | Sistema de inspección de obleas |
Forma del borde biselado | Línea | Sistema de inspección de obleas |
Tamaño de la oblea (Largo de lado * largo de lado) | 156 mm * 156 mm 157 mm * 186 mm 166 mm * 166 mm | Sistema de inspección de obleas |
Ángulo entre lados adyacentes | 90±3° | Sistema de inspección de obleas |
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